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平面激光干涉仪

设备用途:

采用了菲索干涉原理,利用高精度的平面参考镜产生的标准平面光波与被测表面反射的光波相叠加,出现光波干涉的物理现象,通过分析干涉条纹的形状,测量出被测表面的面型精度,也可以计算出波前像差;

可以针对不同的生产线,实施不同的安装方式,实现快速在线检测,提高生产效率。

设备特点:

实现了平面光学零件表面面型精度?#36884;?#37096;误差的测量;

实现了平面光学零件平行度和楔角测量;

实现了平面光学零件透过波前像差测量;

适合检测与评估手机面板对摄像头成像质量的影响;

非接触式测量,不会损伤被测零件;

小型化,结构紧凑。

 

立即咨询 服务热线:+86-512-57925888
                                                        +86-755-28060888

  • 应用领域
  • 技术参数

适用于检测平面光学加工、平板玻璃、半导体等领域的面型精度。

对准方式:两光?#38750;?#25442;、两点法校准
最大测试口径:25mm
激光:Ld激光器,波长635nm
平面标准镜精度:PV≤λ/20
相机分辨率:1280x1024
精度:0.03μm

对我们的产品?#34892;?#36259;

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